半導(dǎo)體分立器件鹽霧(腐蝕)檢測
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發(fā)布時間:2025-09-24 19:28:12 更新時間:2025-09-23 19:28:12
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作者:中科光析科學技術(shù)研究所檢測中心
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在現(xiàn)代電子工業(yè)中,半導(dǎo)體分立器件的可靠性直接關(guān)系到終端產(chǎn)品的使用壽命和環(huán)境適應(yīng)性。鹽霧腐蝕作為常見的環(huán)境應(yīng)力因素,能夠加速金屬材料的電化學腐蝕過程,導(dǎo)致器件引腳氧化、封裝開裂、電氣性能退化等問題。據(jù)統(tǒng)計,沿海地區(qū)電子設(shè)備故障中約35%與鹽霧腐蝕相關(guān)。針對半導(dǎo)體分立器件開展專業(yè)化的鹽霧腐蝕檢測,不僅能夠評估材料耐腐蝕性能,還能為產(chǎn)品設(shè)計改進提供關(guān)鍵數(shù)據(jù)支撐。
鹽霧檢測通過模擬海洋大氣或含鹽工業(yè)環(huán)境,在可控條件下觀察器件各項性能參數(shù)的變化。這種加速老化測試能有效預(yù)測器件在實際使用環(huán)境中的耐腐蝕能力,特別是對功率器件、汽車電子等高可靠性要求的應(yīng)用場景具有特殊意義。檢測過程中需要重點關(guān)注器件外觀變化、絕緣電阻衰減、漏電流增加等典型失效模式。
1. 外觀完整性檢測:包括引腳腐蝕程度評估、封裝材料變色/起泡觀察、標記清晰度保持性等。通常采用10倍以上放大鏡或顯微成像系統(tǒng)進行量化分析。
2. 電氣性能檢測:主要測量反向漏電流、正向壓降、擊穿電壓等關(guān)鍵參數(shù)的變化率,對比初始值計算性能衰減幅度。
3. 機械性能測試:檢測引腳可焊性、封裝體抗拉強度等機械特性是否因腐蝕而劣化。
4. 失效分析:通過SEM/EDS等設(shè)備對腐蝕產(chǎn)物進行成分分析,確定腐蝕機理(如電偶腐蝕、縫隙腐蝕等)。
鹽霧試驗箱:核心設(shè)備,需具備精確的溫濕度控制(±1℃)、PH值調(diào)節(jié)(6.5-7.2)、鹽霧沉降量計量(1-2ml/80cm2·h)功能。先進型號還集成干濕交替循環(huán)模式。
高阻計:測量1012Ω以上絕緣電阻,要求具備防電磁干擾設(shè)計和自動極化補償功能。
參數(shù)測試儀:用于IV特性曲線測量,需支持微安級電流分辨率和1000V以上耐壓測試。
三維視頻顯微鏡:配備景深合成功能,可實現(xiàn)腐蝕產(chǎn)物的三維形貌重建和定量分析。
連續(xù)鹽霧法:將樣品置于35℃、5%NaCl溶液中持續(xù)噴霧,每24小時檢查一次外觀變化,通常持續(xù)96-1000小時不等。適用于快速篩選試驗。
循環(huán)腐蝕法:交替進行鹽霧(4h)-干燥(2h)-濕熱(2h)循環(huán),更接近實際環(huán)境應(yīng)力。需要專用多環(huán)境復(fù)合試驗箱。
動態(tài)偏置法:在施加工作電壓狀態(tài)下進行鹽霧試驗,可檢測電遷移加速腐蝕效應(yīng)。需注意安全隔離措施。
局部加速法:使用微量注射器在特定部位(如鍵合點)施加濃縮電解液,配合熱臺加熱實現(xiàn)局部快速評估。
在實際檢測中,通常會組合多種方法:先進行48小時連續(xù)鹽霧初篩,再對合格樣品開展100次循環(huán)腐蝕驗證,最后對失效樣品進行微觀分析。所有測試需在防靜電環(huán)境中操作,避免二次污染影響結(jié)果準確性。
證書編號:241520345370
證書編號:CNAS L22006
證書編號:ISO9001-2024001

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