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半導(dǎo)體分立器件反向漏電流檢測

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發(fā)布時間：2025-09-24 17:49:27 更新時間：2025-09-23 17:49:27

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作者：中科光析科學(xué)技術(shù)研究所檢測中心

半導(dǎo)體分立器件反向漏電流檢測的重要性

半導(dǎo)體分立器件作為電子電路中的基礎(chǔ)元件，其性能穩(wěn)定性直接影響整體系統(tǒng)的可靠性。反向漏電流是評估器件質(zhì)量的關(guān)鍵參數(shù)之一，它反映了器件在反向偏壓條件下絕緣特性的優(yōu)劣。過高的漏電流會導(dǎo)致器件功耗增加、溫升異常，甚至引發(fā)熱擊穿等失效問題。因此，在研發(fā)、生產(chǎn)及質(zhì)量控制環(huán)節(jié)中，對分立器件反向漏電流進行精確檢測具有重要的工程意義。

主要檢測項目

反向漏電流檢測通常包含以下核心項目：常溫反向漏電流測試（用于基礎(chǔ)性能評估）、高溫反向漏電流測試（考察溫度穩(wěn)定性）、反向電壓掃描測試（分析電壓依賴性）以及長時間穩(wěn)定性測試（監(jiān)測漏電流漂移）。其中高溫測試需要配合恒溫環(huán)境箱，模擬器件在實際工作條件下的表現(xiàn)。

關(guān)鍵檢測儀器

檢測系統(tǒng)主要由三大類設(shè)備構(gòu)成：高精度源測量單元（SMU）用于施加反向偏壓并采集微弱電流，其分辨率需達到pA級；環(huán)境試驗箱提供-65℃至+150℃的可控溫場；探針臺或?qū)Ｓ脺y試夾具則確保器件與儀器間的穩(wěn)定接觸。部分高端系統(tǒng)還會集成示波器用于瞬態(tài)特性分析。

典型檢測方法

階梯電壓法是應(yīng)用最廣泛的方法，通過逐步增大反向電壓并記錄對應(yīng)電流值，可繪制完整的I-V特性曲線。針對功率器件，常采用脈沖測試法以避免自熱效應(yīng)的影響。對于批量檢測場景，自動化測試平臺會結(jié)合邊界掃描技術(shù)，快速篩選不合格品。值得注意的是，所有測試均需在電磁屏蔽環(huán)境下進行，以消除外界干擾。