EDS分析
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發布時間:2025-07-25 08:49:03 更新時間:2025-11-04 08:48:03
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作者:中科光析科學技術研究所檢測中心
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EDS(Energy Dispersive Spectrometer)是電子顯微鏡(掃描電鏡、透射電鏡)的重要附屬配套儀器,結合電子顯微鏡,能夠在1-3分鐘之內對材料的微觀區域的元素分布進行定性定量分析。
EDS的譜圖中譜峰代表樣品中存在的元素。定性分析是分析未知樣品的第一步,即鑒別所含的元素。如果不能正確地鑒別元素的種類,最后定量分析的精度就毫無意義。通常能夠可靠地鑒別出一個樣品的主要成分,但對于確定次要或微量元素,只有認真地處理譜線干擾、失真和每個元素的譜線系等問題,才能做到準確無誤。定性分析又分為自動定性分析和手動定性分析,其中自動定性分析是根據能量位置來確定峰位,直接單擊“操作/定性分析”按鈕,即可在譜的每個峰位置顯示出相應的元素符號。自動定性分析識別速度快,但由于譜峰重疊干擾嚴重,會產生一定的誤差。
定量分析是通過X射線強度來獲取組成樣品材料的各種元素的濃度。根據實際情況,人們尋求并提出了測量未知樣品和標樣的強度比方法,再把強度比經過定量修正換算成濃度比。最廣泛使用的一種定量修正技術是ZAF修正。
在多數情況下是將電子束只打到試樣的某一點上,得到這一點的X射線譜和成分含量,稱為點分析方法。在近代的新型SEM中,大多可以獲得樣品某一區域的不同成分分布狀態,即:用掃描觀察裝置,使電子束在試樣上做二維掃描,測量其特征X射線的強度,使與這個強度對應的亮度變化與掃描信號同步在陰極射線管CRT上顯示出來,就得到特征X射線強度的二維分布的像。這種分析方法稱為元素的面分布分析方法,它是一種測量元素二維分布非常方便的方法。

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