四氟化碳MSDS

第一部分：化學品名稱

化學品中文名稱：四氟甲烷

化學品俗名：四氟化碳

化學品英文名稱：tetrafluoromethane

英文名稱：carbon tetrafluoride

技術說明書編碼：76CAS No.：75-73-0

第二部分：成分/組成信息

有害物成分含量CAS No.

四氟甲烷75-73-0

第三部分：危險性概述

健康危害：能引起快速窒息。接觸后可引起頭痛、惡心和嘔吐。

燃爆危險：本品不燃，具窒息性。

第四部分：急救措施

吸入：迅速脫離現場至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢。如呼吸困難，給輸氧。如呼吸停止，立即進行人工呼吸。就醫。

第五部分：消防措施

危險特性：不燃。若遇高熱，容器內壓增大，有開裂和爆炸的危險。

有害燃燒產物：氟化氫。

滅火方法：本品不燃。切斷氣源。噴水冷卻容器，可能的話將容器從火場移至空曠處。

第六部分：泄漏應急處理

應急處理：迅速撤離泄漏污染區人員至上風處，并進行隔離，嚴格限制出入。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿一般作業工作服。盡可能切斷泄漏源。合理通風，加速擴散。如有可能，即時使用。漏氣容器要妥善處理，修復、檢驗后再用。

第七部分：操作處置與儲存

操作注意事項：密閉操作，全面通風。操作人員必須經過專門培訓，嚴格遵守操作規程。遠離易燃、可燃物。防止氣體泄漏到工作場所空氣中。避免與氧化劑接觸。搬運時輕裝輕卸，防止鋼瓶及附件破損。配備泄漏應急處理設備。

儲存注意事項：儲存于陰涼、通風的庫房。遠離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃。應與易(可)燃物、氧化劑分開存放，切忌混儲。儲區應備有泄漏應急處理設備。

第八部分：接觸控制/個體防護

工程控制：生產過程密閉，全面通風。

呼吸系統防護：一般不需要特殊防護，高濃度接觸時可佩戴自吸過濾式防毒面具(半面罩)。

眼睛防護：一般不需特殊防護。

身體防護：穿一般作業工作服。

手防護：戴一般作業防護手套。

其他防護：避免高濃度吸入。進入罐、限制性空間或其它高濃度區作業，須有人監護。

第九部分：理化特性

外觀與性狀：無色無臭氣體。

熔點(℃)：-183.6

相對密度(水=1)：1.61(-130℃)

沸點(℃)：-128.0

分子式：CF4

分子量：88.01

主要成分：純品

飽和蒸氣壓(kPa)：13.33(-150.7℃)

臨界溫度(℃)：-45.5

臨界壓力(MPa)：3.74

溶解性：不溶于水。

主要用途：用作低溫致冷劑及集成電路的等離子干法蝕刻技術。

第十部分：穩定性和反應活性

禁配物：強氧化劑、易燃或可燃物。

第十四部分：運輸信息

危險貨物編號：22033

UN編號：1982

包裝類別：O53

包裝方法：鋼質氣瓶。

運輸注意事項：采用剛瓶運輸時必須戴好鋼瓶上的安全帽。鋼瓶一般平放，并應將瓶口朝同一方向，不可交叉;高度不得超過車輛的防護欄板，并用三角木墊卡牢，防止滾動。嚴禁與易燃物或可燃物、氧化劑等混裝混運。夏季應早晚運輸，防止日光曝曬。鐵路運輸時要禁止溜放。

第十五部分：法規信息

法規信息化學危險物品安全管理條例 (1987年2月17日國務院發布)，化學危險物品安全管理條例實施細則 (化勞發[1992] 677號)，工作場所安全使用化學品規定 ([1996]勞部發423號)等法規，針對化學危險品的安全使用、生產、儲存、運輸、裝卸等方面均作了相應規定;常用危險化學品的分類及標志 (GB 13690-92)將該物質劃為第2.2 類不燃氣體。

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